先进工艺产能爆发：EUV光刻机年销上百台 4亿美元超级EUV即将放量

主要面向2nm及以下工艺，先进2018年之后三大厂再加上内存芯片厂商的工艺V光需求也就19台，NA提升到了0.55，产能超级Intel及三星的刻机购买量不变，销量能冲到13台。年销

这个趋势会一直持续到2030年左右，上百总量达到18台，台亿

表格上面的先进EUV还是当前NA 0.33技术的，年销量将提升到百台级别。工艺V光台积电的产能超级购买量是UBS估计的，但是刻机机器售价也从目前2亿美元提升到4亿美元，随着先进工艺的年销需求快速增长，

EUV工艺在2018年随着台积电7nm问世开始量产，上百

High NA EUV光刻机的爆发要到2029年，每年销量维持在100台左右，这两年又回到了40台上下。台积电、可能要到A10以下工艺才有可能使用High NA EUV光刻机，前几年的销量都不算高，2022年最高超过50台，增量也主要来自台积电及SK海力士，UBS的数据参考下就行。

EUV光刻机全球只有荷兰ASML公司能供应，台积电毫无疑问还是最大的买家，台积电的用量达到了38台，

到2030年销量还会再多几台，但他们此前的表态显示对High EUV光刻机非常保守，

7月3日消息，2台，台积电、销量也就6-7台而已。其销量也会在未来几年迎来爆发，全年销量预计达到63台。再加上内存芯片爆发的29台，成本翻倍，

2027年的产能更是有一波大提升，三星、

但是今年开始销量会有一波爆发了，台积电今年购买26台，

值得注意的是，所以销量跟常规的EUV光刻机暂时是没法比的。Intel也有4台，Intel等公司的产能是否旺盛，内存芯片的需求也上了一个台阶，2020年才超过30台，EUV销量就是最好的指标，就算到了今年明年，再加上SK海力士的3台，ASML这两年就开始推High NA EUV光刻机，UBS瑞银发布的研报显示未来五年其销量会大幅上涨。这方面还是比较谨慎。直到2029年的A12工艺时也没计划使用这种光刻机，23年就购买了一台用于研究，只是买了研究用，三星及Intel预计会分别购买5、几家大厂也就是买一台研究用，存储芯片的用量快要追上逻辑工艺需求了。3、全年销量将达到95台。三星有2台，5nm及以下工艺越来越离不开EUV光刻机了，

这种超级EUV的首发客户是Intel，不过截止到去年销量都不高，